effet
Dans la famille des gaz électroniques, le silane, le phosphane, le borane et l'arsane sont largement utilisés et constituent des matières premières extrêmement importantes pour la fabrication de circuits intégrés. Le phosphane est une source importante de dopage de type N dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et il est également utilisé dans des processus tels que la précipitation chimique en phase vapeur du polysilicium, les matériaux GaP épitaxiaux, l'implantation ionique, le processus MOCVD et la préparation de films passifs sur verre phosphorosilicié (PSG).
PH3, inflammable, explosif, hautement toxique, avec des niveaux de toxicité de PEL/TLV 0,3 ppm, STEL 1 ppm, LC50 20 ppm, IDLH 200 ppm, est une substance dangereuse hautement toxique.
Intervention et élimination d'urgence
1. Intervention d'urgence en cas de fuite
Évacuer rapidement le personnel de la zone contaminée en amont du vent et l'isoler immédiatement sur 450 mètres, en limitant strictement les entrées et sorties. Couper la source de l'incendie. Il est recommandé au personnel d'urgence de porter des respirateurs autonomes à pression positive et des vêtements de protection. Couper autant que possible la source de la fuite. Ventilation raisonnable et diffusion accélérée. Diluer et dissoudre avec de l'eau pulvérisée. Construire des remblais ou creuser des fosses pour contenir une grande quantité d'eaux usées générées. Si possible, utiliser un ventilateur d'extraction pour acheminer le gaz qui fuit vers une zone ouverte ou installer une buse appropriée pour le brûler. Les conteneurs de fuite doivent être correctement manipulés, réparés et inspectés avant utilisation.
2. Mesures de protection
Protection respiratoire : Dans des conditions de travail normales, porter un masque à gaz filtré (masque facial complet). Dans les environnements à forte concentration, il est nécessaire de porter un respirateur à air comprimé ou un respirateur à oxygène. Il est recommandé de porter un respirateur à air comprimé pendant les opérations de sauvetage ou d'évacuation d'urgence.
Protection des yeux : Porter des lunettes de protection contre les produits chimiques.
Protection du corps : Porter une veste à gaz adhésive de type masque.
Protection des mains : Porter des gants en caoutchouc.
Autres : Il est strictement interdit de fumer, de manger et de boire sur le lieu de travail. Après le travail, prenez une douche et changez de vêtements. Maintenez de bonnes habitudes d'hygiène. L'accès aux réservoirs, aux espaces restreints ou à d'autres zones à forte concentration pour le travail doit être supervisé par une personne.
3、 Mesures de premiers secours
Inhalation : éloignez-vous rapidement des lieux vers un endroit avec de l'air frais. Maintenir la perméabilité des voies respiratoires. Si la respiration est difficile, administrer de l'oxygène. Si la respiration s'arrête, pratiquez immédiatement la respiration artificielle. Consultez un médecin.
Méthode d'extinction d'incendie : Les pompiers doivent porter des masques à gaz filtrants (masques faciaux complets) ou des respirateurs isolants, porter des vêtements de protection contre le feu et le gaz sur tout le corps et éteindre l'incendie dans le sens du vent. Couper la source d'air. Si la source de gaz ne peut pas être coupée immédiatement, il n'est pas permis d'éteindre le gaz en feu. Vaporiser de l'eau pour refroidir le récipient et, si possible, déplacer le récipient du feu vers une zone ouverte. Agent d'extinction : eau pulvérisée, mousse, poudre sèche, dioxyde de carbone.
