Description du gaz
Tétrafluorocarbone, également connu sous le nom de tétrafluorométhane. Gaz incolore, inodore et inodore. Insoluble dans l'eau, 0,0015 à 25 ℃ sous pression normale, soluble dans le chloroforme et le benzène. Ce produit est non toxique et ininflammable. A forte concentration, il a un effet anesthésique. Son gaz de haute pureté et son mélange avec de l'oxygène de haute pureté sont actuellement le gaz de gravure plasma le plus utilisé dans l'industrie microélectronique. Chemicalbook peut également être utilisé comme réfrigérant à basse température et comme moyen isolant. Bonne stabilité chimique et thermique, inerte vis-à-vis de nombreux réactifs, non hydrolysé à 1000 ℃. Il ne réagit pas avec le cuivre, le nickel et le tungstène à température ambiante. En raison de la forte stabilité chimique de la liaison CF, les perfluorocarbures représentés par CF4 peuvent être considérés comme essentiellement non toxiques.
Principales utilisations
Le tétrafluorure de carbone est actuellement le gaz de gravure plasma le plus utilisé dans l’industrie microélectronique. Il est largement utilisé pour graver des matériaux en couches minces tels que le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, le verre phosphorosilicate et le tungstène. Il est également largement utilisé dans le nettoyage des surfaces des appareils électroniques, la production de cellules solaires, la technologie laser, la réfrigération à basse température, l'isolation des gaz, les agents de détection de fuites, le contrôle d'attitude des fusées spatiales, les agents de nettoyage, les lubrifiants et les liquides de frein dans la production de circuits imprimés. . En raison de sa forte stabilité chimique, le CF4 peut également être utilisé dans des industries telles que la fonderie de métaux et la plasturgie.
Stockage et précautions
Stocker dans un entrepôt dédié aux gaz non combustibles, frais et ventilé. Éloignez-vous des étincelles et des sources de chaleur. La température de stockage ne doit pas dépasser 30 ℃. Il doit être stocké séparément des matériaux combustibles et des comburants, et le stockage mixte doit être évité. La zone de stockage doit être équipée d'équipements d'intervention d'urgence en cas de fuite.
